激光与物质间的相互作用研究在材料加工、机械制造业、光电成像系统等有着重要意义。而关于光学增透薄膜与重复频率激光的相互作用研究尤为重要,本文主要对重复频率长脉冲激光辐照光学薄膜材料的热力损伤情况进行数值模拟并分析其损伤情况。本文研究并建立了重复频率长脉冲激光分别辐照单层薄膜材料(Al2O3/K9)和双层薄膜材料(SiO2/Al2O3/K9)的物理模型,采用有限元算法求解相应的热传导方程和热应力方程,得到了材料内部热、力场分布。数值模拟结果表明,单层薄膜材料:当温度冷却时,残余环向热应力沿径向移动,在频率比较低时,基底首先发生热应力损伤,接着薄膜发生热应力损伤。双层薄膜材料:从激光参数上分析,在入射激光占空比相同的条件下,薄膜体系的温升随着脉宽的增大而减小;从整个薄膜体系中的热力损伤上分析,在时间顺序上SiO2膜层首先发生环向拉力损伤现象,然后K9基底发生环向拉力损伤,接着K9基底发生热熔融现象,最后SiO2膜层发生热熔融现象。本文结果可用于系统分析和揭示激光与光学薄膜相互作用机理,也可为光学薄膜设计及薄膜抗激光加固技术提供一定的理论参考和依据。