微细电火花加工技术由于电极制作简单、材料的硬度及强度对加工影响小、可控性好等优点而被广泛应用于微小器件的加工，但由于加工效率低、加工速度缓慢，这在很大程度上限制了其应用与发展。目前在微细电火花孔加工及铣削加工中为了提高加工效率通常是采用旋转电极的方式，其电极旋转速度一般在几百转/分至上千转/分。电极旋转能够促进极间排屑和电极的冷却，从而抑制局部放电和异常拉弧放电的发生，因此如果大幅提高电极转速至数万转/分，其加工效率应该会进一步提高。但传统的微细电火花加工通常采用RC脉冲电源，必须采用电刷进行接触式给电，如果主轴转速过高，由于电刷的影响会引起主轴的振动，从而降低微细电火花加工精度，因此接触式给电限制了主轴转速的进一步提高。静电感应微细电火花加工通过电容耦合方式实现了对工具电极的非接触给电，不仅可以进一步提高微细电火花加工的微细化极限，而且其去除了与主轴直接接触的给电电刷，为在微细电火花孔加工中应用高速主轴提供了可能。本文通过分析静电感应微细电火花加工的原理，设计制作了基于高速主轴的静电感应微细电火花加工装置及极间电压的非接触测量装置，分析并验证了非接触测量能够真实地反映极间电压的变化，同时研究表明改变给电电极的内径和长度能够有效地调节极间放电能量；另外，本文还建立了主轴高速旋转下圆柱电极微小孔加工极间间隙流场模型，对主轴高速旋转时极间流场中颗粒受力进行了分析，同时对不同转速时极间流场中放电蚀除颗粒的分布进行了数值模拟，发现主轴转速的大幅提高能够使放电蚀除颗粒更加迅速地排出极间间隙；为了能够实现极间放电间隙的自动调节，本文根据高速主轴静电感应微细电火花加工的特点，研制了相应的伺服控制系统，同时在微小孔加工中研究了伺服参考电压、脉冲电源频率、主轴转速对加工效率的影响。另外在微缝加工中研究了主轴转速对电极损耗的影响。