【摘 要】
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减反射薄膜在各领域中的应用日益广泛,对其性能的要求也在不断地提高。紫外波段的减反射薄膜可显著提高光电探测器件、激光器和太阳能电池等应用的光学性能,其研究意义不断凸显。对于硅太阳能电池来说,由于其折射率远大于空气,导致对紫外光的反射较高。而降低Si表面紫外光的反射,可显著提高电池在短波范围的光谱响应。论文主要对晶体硅表面的紫外波段减反射薄膜展开研究,具体内容如下：1.论文在介绍了传统减反射薄膜原理的
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减反射薄膜在各领域中的应用日益广泛,对其性能的要求也在不断地提高。紫外波段的减反射薄膜可显著提高光电探测器件、激光器和太阳能电池等应用的光学性能,其研究意义不断凸显。对于硅太阳能电池来说,由于其折射率远大于空气,导致对紫外光的反射较高。而降低Si表面紫外光的反射,可显著提高电池在短波范围的光谱响应。论文主要对晶体硅表面的紫外波段减反射薄膜展开研究,具体内容如下：1.论文在介绍了传统减反射薄膜原理的基础上,针对短波范围内大部分材料都具有有吸收(消光系数不为零)的特点,推导了短波段减反射薄膜的设计方法。
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