母排是变电站配电供电设备中的主供电线路,通常采用热缩套管进行防护。但随着电力工业迅速发展,大功率的电缆和电线的应用,加上外界环境的持续恶化,原有的母排外绝缘防护设计表现出较多的问题,如散热性差、电连接部位防护不严密、抗腐蚀性能低等。因此,采用新防护材料,研究新型母排防护结构对于解决变电站母排防护问题至关重要。氧化硅薄膜具有优良的绝缘性能和抗腐蚀性能。采用大气压等离子体沉积技术进行镀膜,不仅可以实现对母排电连接部位的在线镀膜防护,还可以提高母排的抗腐蚀性能。导热硅橡胶绝缘防腐蚀性好、导热性能优异,可有效避免由于防护材料散热性差而导致母排工作效率降低的情况发生。因此,本论文针对目前母排防护存在的问题,提出了一种新型的氧化硅—硅橡胶母排双重防护结构,并对氧化硅薄膜的制备工艺及性能特点进行了深入的研究。本论文的具体研究内容如下:(1)采用大气压等离子体射流(APPJ)方式沉积氧化硅薄膜,研究实验参数如单体通量、沉积时间及基底温度等对薄膜的性能的影响。当薄膜厚度在650~1100nm之间时,采用给基底升温的方式可以在改善薄膜的致密性,减小孔隙率的同时提高薄膜的硬度和附着力。(2)通过对比研究APPJ和真空电容耦合(CCP)两种镀膜环境下沉积的氧化硅薄膜的生长方式、成分结构及表面形貌,发现与CCP沉积的薄膜相比,虽然APPJ沉积的氧化硅薄膜致密性相对较差,但氧化硅薄膜的防腐蚀性能却远远优于CCP制得的氧化硅薄膜。(3)APPJ沉积的氧化硅薄膜具有良好的防腐蚀性能,通过对基底加热,氧化硅薄膜的防腐蚀性能可进一步得到改善。(4)综合考虑防护效果和生产成本,最佳的氧化硅—硅橡胶双重防护结构为母排主体部位包覆硅橡胶,电连接部位沉积氧化硅薄膜。