大气压射频辉光放电(radio frequency atmospheric pressure glow discharge)是一种产生等离子体的有效方法,相对于低气压射频辉光放电而言,它具有低成本(无需昂贵的真空设备)、生产效率高等优点。近些年来,大气压射频辉光放电受到工程师及科学研究者的青睐,并且被广泛的应用在大规模集成电路、材料表面改性、材料合成、生物杀菌消毒等方面。然而,在实际应用中由于射频放电的频率较高,在较高的外加电压下,放电极易从辉光放电过渡到弧光,这种不稳定性就导致了大气压射频放电在生产应用中受到限制。为了解决放电强度与放电稳定性之间的矛盾,科学研究人员提出了脉冲调制的射频大气压介质阻挡放电的方法,通过调节脉冲电源的占空比,来获得放电强度高而且稳定的辉光。目前实验研究已经成功的实现了常压脉冲调制放电自身独有的优势,然而在这方面的数值模拟研究还有待深入。本文利用流体模型,对脉冲调制的射频大气压介质阻挡放电进行数值模拟研究,分析讨论了放电的特点,以及主要参数对放电特性的影响。首先,采用一维无碰撞流体模型对平行板电极放电进行了数值模拟。模拟结果显示了脉冲调制放电的电压—电流的基本特征,各粒子空间分布特性以及放电间隙对放电特性的影响。结果表明,在脉冲开启稳定后的放电特性与没有脉冲调制的射频放电特性相一致,在脉冲关闭时,放电电流瞬时响应,而各粒子密度下降较慢,在下一次放电开启时,仍有一部分粒子残留在放电空间,直接参与下一次放电；占空比80%的放电模式跳变,与不加脉冲调制的射频放电模式跳变相类似；放电间隙的影响表现在较小的放电间隙,可以得到较大的放电电流,放电相对容易实现。其次,研究了脉冲参数对放电特性的影响,主要是讨论了占空比的影响。研究结果表明：电流的幅值随调制占空比的变化呈现跳变,且射频频率越高,放电电流越大；不同的占空比下,电子密度在脉冲关后,扩散效果亦不同；研究还发现,占空比80%的情况下,脉冲频率的变化对放电电流的幅值影响较小。最后,本文采用二维流体力学模型,数值模拟直角坐标系下脉冲调制的射频大气压介质阻挡放电。所得到的放电稳定状态各粒子密度、电流特性的研究结果,与一维模型结果相一致,也就说明了二维模型的有效性。之后具体分析了调制脉冲关闭时,放电电压电流、电子密度、电场的变化趋势。由于二维模型更接近实际生产中的工艺过程,这部分工作将更精确的为常压脉冲调制放电的应用打下基础。