光刻机作为光刻工艺中最重要的设备，其精度直接影响到集成电路的集成度，而双工件台作为光刻机最重要的部件之一，其精度直接影响到光刻机的各项指标。工件台的上位机系统主要用于工件台的流程控制、实时监控和仿真测试，因此是不可或缺的部分。上位机的系统以Borland C++builder6.0作为开发环境，主要工作是与安装在工控机上的VxWorks进行通讯。本文首先从工件台的任务入手，在明确工件台任务的基础上对上位机系统进行了整体的规划,并按照模块化思想将上位机系统划分为用户管理模块、数据库模块、实时监控模块、仿真测试模块、网络通讯模块和数据文件模块并对各个模块的功能进行了细致的介绍。然后在Borland C++builder6.0开发环境下根据各模块的要求封装了数据库类、网络通讯类、FDB文件类和动态曲线绘制类，并对每个底层类的设计和功能以及封装的函数进行了细致的介绍。最后在各底层类的基础上根据对上位机的要求实现上位机的各个功能。完成用户登录注册和管理功能、实时监控功能、仿真测试功能、参数配置功能和信息查询功能，并且设计友好的人机界面，实现对下位机的控制。通过与安装在工控机上的VxWorks通讯测试和与在C++builder6.0中模拟下位机的联合测试，测试系统是否达到预期的目标。