基于微纳米结构减色滤光片的研究

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表面等离子波减色滤光片由于其颜色可调、易于加工、高度可靠性等特点受到广泛关注,有望作为下一代色彩过滤技术应用于图像显示行业。本文设计并提出了一种透射型亚波长双层介质-金属光栅结构减色滤光片。所设计的结构包括以下三个部分:石英基底、介质光栅层和金属光栅层。对于不同偏振的入射光波,利用严格耦合波分析法对光栅结构进行详细的分析研究,通过对结构参数的控制,在TM光波入射情形下,实现可见光范围内任意光波长颜色的高透过率输出,特别地对于减法混色三基色青、品红和黄色,最高透过率达85%,相比较以往文献中提出的结构,本文设计的减色滤光片CMY三原色的透过率提升了10%-25%,FWHM得到进一步优化(约110nm)。利用双光束干涉、真空镀膜和lift-off等加工手段制作230nm周期一维亚波长金属光栅减色滤光片,在TM光入射情形下实现黄光输出。本文所述一维亚波长金属光栅减色滤光片工艺制作简单、成本低廉,适用于批量生产,在图像显示行业具有巨大的应用价值。
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