【摘 要】
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高纯石英砂是制备石英玻璃、石英坩埚等高端产品的主要原料,其高档产品被广泛应用在大规模及超大规模集成电路、光纤、太阳能电池、激光、航天、军事等行业中。随着现代科技
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高纯石英砂是制备石英玻璃、石英坩埚等高端产品的主要原料,其高档产品被广泛应用在大规模及超大规模集成电路、光纤、太阳能电池、激光、航天、军事等行业中。随着现代科技的发展,石英玻璃的需求量不断增加,而其原料矿—天然水晶资源已近枯竭,不能满足现代高科技工业发展的需求,促使人们探索用普通石英替代水晶制造石英玻璃。普通石英普遍含有流体包裹体,水是气液包裹体主要成分,高温下不爆破的流体包裹体是形成石英玻璃气泡的主要因素,包裹体中的水分子溶解于SiO:熔体中形成石英玻璃的残余羟基,去除石英砂中气液包裹体是提高石英玻璃用砂的难点之一。本论文选取内蒙古马牙子山石英矿为主要研究对象,将研究重点放在高温热处理方法去除石英砂中微小(1-6μm)气液包裹体,根据石英矿中气液包裹体的特征,选择合适的高温处理工艺进行探讨,对高温去除气液包裹体机理、方法以及后续酸洗工艺处理进行研究,提出有效的工艺流程。通过高温热处理实验,确定了处理温度为1500℃,多次重复热震(急热,空气中急冷)的高温处理方式作为最佳工艺,在此处理工艺条件下,石英砂内部产生较多且均匀的微裂纹,可以使微小气液包裹体成分从微裂纹逸出。该论文选用高温热震处理后的石英砂进行酸洗实验,并以1500℃温度下高温热处理的石英砂为主要对象,探索了酸的种类、酸洗温度、以及酸洗时间对石英砂中杂质去除的影响,并最终确定了在80℃下,选用HF、HCl、HNO3的混合酸,清洗10小时为最佳工艺参数,酸洗处理后可以使杂质总含量降到50ppm以下。
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