压电陶瓷等智能材料构成的执行器具有精度高、体积小、响应快等优点,能够将电能快速地转变为微/纳米级的精密机械运动,被广泛应用于电子、光学以及航天航空等技术领域。但压电陶瓷存在的迟滞、蠕变等机械特性导致了其输出的非线性,给以压电陶瓷作为执行器的微/纳米定位系统的精密控制带来了极大困难,而迟滞的影响尤为突出。因此对压电陶瓷机械特性的建模与控制研究受到国内外学者的高度关注。针对上述问题,结合国内外学者对压电陶瓷机械特性的建模与控制方法,理论结合实验深入研究了压电陶瓷的迟滞、蠕变非线性,得到了其位移迟滞逆模型,并设计相应控制器、控制输入电压来提高系统定位精度。本文对叠堆型压电陶瓷的驱动机理进行理论分析,并搭建了外差干涉纳米位移测量系统通过实验测试了其迟滞与蠕变特性,获得了迟滞、蠕变的基本特征与规律。基于实验测试的迟滞位移数据,运用最小二乘法建立多项式模型来描述迟滞逆状态,从而扩展输入空间建立压电陶瓷迟滞神经网络逆模型,其辨识误差为0.66%。在迟滞逆模型的基础上,设计了压电陶瓷迟滞补偿控制程序,并完成了对迟滞位移线性补偿的前馈开环控制和前馈结合PID复合控制实验,实验结果表明迟滞现象明显减小;基于多项式逆模型的前馈开环控制,完成压电陶瓷位移台阶复位实验,使压电陶瓷的起止位移差减小了92.37%;给定期望位移,采用前馈开环控制与前馈结合PID复合控制算法进行位移跟踪实验,位移跟踪误差下降至1.84%。最后分析压电陶瓷蠕变的特征与规律,并结合迟滞控制实验的结论,得到了减小压电陶瓷蠕变的方法,进而提高了微/纳米定位的精度。