【摘 要】
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该文研究了光学多层镀膜机的光学监控原理和实际光路,针对近红外膜厚监控信号弱、噪声大和信噪比低等特点,利用相关测量、锁相放大的原理对信号进行处理,成功地实现了在强噪
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该文研究了光学多层镀膜机的光学监控原理和实际光路,针对近红外膜厚监控信号弱、噪声大和信噪比低等特点,利用相关测量、锁相放大的原理对信号进行处理,成功地实现了在强噪声中提取微弱近红外膜厚监控信号.自行编写程序对信号进行采集、分析和处理,最后用320*240液晶显示屏简洁、直观的显示输出信号.自行研究、制造的近红外膜厚监控仪采用集成电路板以减少信号间的窜扰,内部电子元件采用业界性价比最好的芯片,与国外同类产品相比具有成本低、功能强大、数字集成化程度高、测量灵敏度高、显示直观、坚固耐用和便于携带等优点,最重要是弥补国产近红外膜厚监控仪器的空白,对于改进国产镀膜机的性能有着非常重要的意义.该文还研究了全自动有源发光光谱仪以及光学镀膜宽光谱膜厚监控信号的采集原理和线阵CCD驱动原理,分别采用单片机和DSP成功实现CCD的驱动,拟运用DSP和双口RAM对数据进行高速处理,从而实现宽光谱实时监控.
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