在惯性约束聚变固体激光驱动器、强激光武器及核武器等关键设备所需的众多光学元器件中,KDP晶体作为一种优质的非线性材料,被广泛的应用于激光和非线性光学领域。大尺寸高精度光学KDP晶体零件的是目前公认的最难加工的光学零件之一,它的加工周期长,本身具有质软、易潮解、脆性高、对温度变化敏感、易开裂等一系列不利于光学加工的特点。超精密金刚石单点切削是获得高质量KDP晶体表面的主要加工方式,但加工后的KDP晶体表面会产生小尺度波纹,而KDP晶体激光损伤阈值是表面粗糙度的函数,激光损伤阈值随着表面粗糙度的减小而增大,传统粗糙度表征方法忽略了纵向和横向的表面空间信息分布,因此对KDP晶体已加工表面空间频率进行定量化分析是十分重要的一项工作。本文将功率谱密度与二维连续小波变换相结合,实现了对空间频率的提取,并且通过对功率谱密度的计算,得到了特定空间频率对表面微观形貌的影响程度,找出影响表面质量的主要因素,为从表面空间频率角度来改进加工工艺提供了可能。通过二维连续小波变换可以将特定空间频率在表面轮廓上的位置进行还原,验证了功率谱密度对空间频率的分析结果,并且直观的描述了小尺度波纹对表面微观形貌的影响,为研究小尺度波纹与KDP激光损伤阈值之间关系奠定了基础。通过比较分析揭示了功率谱密度较传统粗糙度表正参数为表面质量评价提供了纵向和横向方向上的空间信息分布,并且可以较粗糙度表征参数对测量仪器测量范围和取样周期有着更好的适应性。最后结合KDP晶体超精密车削实验中利用白光干涉仪(CCI)测量得到的表面微观轮廓数据,对不同的切削参数进行了功率谱密度的比较分析,发现了切削参数对已加工表面空间频率的影响规律,并且得到了特定空间频率对表面微观形貌的影响程度,对特定空间频率在表面上的位置进行了还原,为研究继续研究切削参数及其他加工因素与小尺度波纹之间的关系奠定了基础。