用YBCO薄膜制备的高温超导红外阵列探测器具有噪声小，灵敏度高，功耗低等优点，在天文、军事等领域发挥着重要的作用。采用传统的微细加工技术制备YBCO阵列，大都不可避免的对其超导性能产生影响，因此，需要研究一种制备高性能YBCO阵列的新方法。YBCO薄膜的无氟溶胶-凝胶制备工艺具有环境友好，热处理周期短等优点，本文在无氟溶胶-凝胶工艺基础上，添加化学修饰剂苯酰丙酮(BzAcH)对YBCO溶胶进行改性，合成了稳定的、成膜性良好的无氟感光YBCO溶胶，并在薄膜感光的基础上制备YBCO阵列。　　首先，以钇、钡、铜的醋酸盐为原料，BzAcH为化学修饰剂，甲醇为溶剂，配制出了稳定的、具有金属螯合物的无氟YBCO溶胶，用该溶胶制备的凝胶薄膜在330nm附近出现紫外吸收峰。利用相应波长的紫外光照射，可使凝胶薄膜中的螫合物分解成难溶于有机溶剂的结构，结合有机溶剂溶洗，可以实现YBCO凝胶薄膜的微细加工。同时，对影响YBCO图形质量的因素进行了讨论。　　进一步利用该溶胶在铝酸镧(LAO)基板上制备凝胶薄膜，通过掩膜照射凝胶膜，结合有机溶剂溶洗，制备出了周期为5μm的阵列，经过适当的热处理，获得了具有c轴外延生长取向的YBCO氧化物陶瓷阵列，该阵列具有良好的超导性能。　　结合激光干涉工艺，采用He-Cd激光双光束曝光，通过合理的光路设计，控制适当的曝光时间，在无需掩膜版的条件下，制备了周期为3μm的YBCO光栅及阵列结构。