负电子亲和势(NEA)光电阴极，由于其优异的性能，在发现后短短数十年中获得了迅猛发展和广泛应用。目前国内已经建立了一条比较完整的光电阴极研制线，但制备的NEA光电阴极与国外先进水平相比仍有较大差距。寻其原因除了阴极材料不够好外，缺乏对每一环节有效的测试分析手段和监测控制方法也是制约我国阴极发展缓慢的一个重要原因。本文正是从这一原因入手结合国家项目开展了NEA光电阴极多信息量测控技术的研究，主要内容如下： 首先，分析了NEA光电阴极制备过程中多信息量：光电流、铯源电流、氧源电流、真空度以及光谱响应对光电阴极的影响，探讨了多信息量测控技术的原理。 其次，在原有光谱响应测试系统的基础上，研制了NEA光电阴极多信息量测控系统，该系统提高了阴极制备的质量和效率。 最后，对多信息量测控技术在NEA光电阴极制备中的应用进行了研究。利用光电阴极制备过程中测试和保存的信息量，如激活系统的真空度、阴极光电流、光谱响应曲线、铯源和氧源电流对光电阴极的激活工艺进行了分析和优化。