稀土离子掺杂的氟化物具有令人瞩目的光功能特性,可作为发光材料、闪烁材料、激光材料等从而具有广阔的应用前景,也很适合于基础研究。尤其是作为上转换材料,氟化物基质的带隙宽,离子性强,电子云扩张效应小,声子能量低,从而使得稀土离子掺杂的氟化物具有优异的上转换发光性能。随着上转换发光技术在红外探测、海底通讯、生物化学、信息处理、防伪技术等领域的应用,不同形态的稀土离子掺杂的氟化物上转换材料也正在被广泛的研究。本文以BaF2为基质,以Yb3+和Ho3+为掺杂离子,首先用传统的高温固相法,通过调节各项工艺条件制备出发光性能最优的上转换发光粉体；接着将该粉体压片,烧结成结构性能和尺寸都合乎要求的溅射靶材；然后通过射频磁控溅射法分别在石英片衬底和载玻片衬底上制备BaF2:Yb3+,Ho3+上转换薄膜,通过对不同的衬底温度,溅射时间,溅射功率,溅射压强等工艺条件下所得薄膜的特性研究,找出一套最优的工艺参数。最后分别对石英衬底和载玻片衬底上的BaF2:Yb3+,Ho3+上转换薄膜进行了热处理,研究了不同的热处理工艺对上转换薄膜特性的影响。通过X射线衍射分析来确定薄膜的晶体结构和相组成,反映不同制备工艺条件和不同热处理工艺条件下薄膜的厚度和晶化程度的改变,并对部分样品利用SEM照片展现出了薄膜样品的微观形貌。通过发射光谱的测试来直接表征不同工艺条件下薄膜样品的上转换发光性能,进而再进行该类型薄膜材料上转换发光效率影响机制的分析与研究。