作为新型人工声学材料——声子晶体,其点缺陷模式由于能量局域化效应可形成高品质因数(Q值)声波谐振器,为实现高分辨声波传感器和其液相检测提供了新的途径。本论文围绕柱式平板声子晶体点缺陷器件的制备、声子晶体结构设计、关键损耗因素等问题展开了理论和实验研究。主要内容及结论如下:1.通过有限元法计算,对硅基平板声子晶体的结构参数、点缺陷模式的振型等进行了分析讨论,给出了实验依据;2.在前期基础上进一步研究了声子晶体模式选择方法,给出了声子晶体单模电极结构和性能分析,为声子晶体传感及其他相关应用打下了基础;3.针对液相中孔式平板声子晶体质量加载及表面修饰等问题,结合课题组提出的柱式平板声子晶体结构的制作工艺、传感特性、性能评估等方面的研究,给出了硅基柱式平板声子晶体点缺陷结构的制作方法,提出了具有较高实用价值的传感器结构和工艺;4.对柱式平板声子晶体器件进行了损耗分析,给出了影响缺陷模式Q值的主要损耗因素,给出了制作过程、工艺路线等对器件性能的影响因素。最终研制出柱式平板声子晶体传感器件且在空气中的Q值约为700。本论文为声子晶体点缺陷模式应用于声波质量传感和液相检测提供了理论和实验基础。