Al/Al3Ti界面结构与性能的第一性原理研究

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微陀螺作为微惯性系统中的核心器件之一,主要用于测量载体的角速度,微陀螺具有体积小、功耗低、成本低等众多优势,在军用制导、无人机等领域和民用汽车导航、海上定位等领域有十分重要的应用价值。高精度微陀螺产品和技术被国外严格控制,而将双层光栅检测位移应用到微陀螺中,有望突破目前电容、压电等主流检测方式的极限。本文提出一种利用双层光栅面内检测方式工作的微陀螺,并对其关键制作工艺进行了研究。本文主要完成微陀螺
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铁电及反铁电材料由于兼备介电、压电、热释电以及铁电电学性能从而可以“一材多用”,被宽泛地应用于电力电子领域,如微执行器、随机存取存储器、储能电容器以及制冷器等器件。另一方面,随着物联网的出现,对电子设备微型化、超薄化和3D可弯曲性的需求越来越大,柔性制造因运而生。制备兼具优异机械弯曲性能和优良电学性能的电子器件是当前柔性制造的发展前景也是挑战。本论文是关于铁电/反铁电柔性薄膜的制备、电学性能测试以
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