钛及其合金微弧氧化膜的制备表征及特性研究

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本文采用微弧氧化(MAO)技术在钛及其合金表面制备了MAO膜,研究了工艺参数对MAO膜的生长特性、微结构、相结构等的影响。首先,采用自制频率固定的交流MAO膜制备系统,分别研究了恒定电压和恒定电流密度下钛合金MAO过程中电学参量、微结构、相组成等的变化规律。其次,采用频率固定的交流MAO膜的制备系统和多功能MAO膜的制备系统,分别研究了在恒定电压/电流密度以及不同电脉冲频率和占空比作用下工业纯钛MAO过程中膜的生长特性、微观结构和相组成的变化规律。在优化工艺参数的基础上,制备出表面颗粒尺寸在300nm~3μm之间的多孔TiO2薄膜,并研究了颗粒尺寸,相组成等随处理时间的变化规律。
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