光纤在微位移及表面粗糙度测量中的应用

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本论文采用Y型反射式光纤探头构建了微位移及表面粗糙度检测装置,主要由发光二极管、锁相放大器、光纤探头、光电池及相关电路组成。根据课题要求,文中对Y型反射式光纤探头的位移测试原理进行了初步探讨和数学分析,给出了基本计算公式,给出了位移与响应灵敏度的关系曲线。指出Y型反射式光纤探头进行微小位移、较大位移、表面粗糙度测试时的特征曲线段,这一点在实用中很有价值。同时对微弱光电信号处理技术也作了较全面深入的研究。本论文是应用锁相放大的方法进行微弱信号处理的,放大倍数为10~6,信噪比改善可达1000倍。本文最后部分对多种标准片、铝片、玻璃片的表面粗糙度进行了测试,与轮廓仪测试结果相比较,得到较为一致的结果。通过实验和分析,指出了提高测试精度的方法,对今后的研究和开发具有指导意义。
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