微机械加速度传感器由于体积小、成本低、功耗低等优点被广泛应用于各种惯性导航系统以及振动检测系统当中。依据当前微机械加速度传感器的零偏性能与标定问题,本文设计一套测试系统,用于提升加速度传感器的性能,并可同时进行THD的标定。为了进一步地提高电容式Mems加速度传感器性能,本设计在Mems加速度传感器敏感单元中设计电容补偿阵列,用于补偿工艺偏差所造成的零点漂移。通过本文设计的多路加速度传感器自动测试系统,可以计算每路加速度传感器的零偏情况,自动判断电容补偿阵列的连接情况,降低加速度传感器的零点偏移。通过电容补偿,传感器的零偏较没有电容补偿的情况提高,同时通过积累大量的实验数据,可指导工艺参数设计。同时本设计可同时检测多路传感器的补偿情况,适合于大规模生产作业。本文还对Mems加速度传感器的总谐波失真(THD)等性能参数进行了标定。总谐波失真作为加速度传感器的重要性能指标之一,针对在Mems传感器领域对其THD标定存在的困难,本文以哈尔滨工业大学Mems中心设计的闭环加速度传感器为基础,通过传感器的自检测电路,在自检测端施加正弦激励信号,通过静电力的作用模拟谐振台震动,通过检测传感器输出的正弦信号,通过FFT频谱分析计算传感器的总谐波失真,具有可行性。测得加速度传感器的总谐波失真为-82dB,此设备具有体积小,操作简单,测试精度高等优点。