红外探测器能够对外界的红外辐射产生响应,并将之转换为其他物理量信号输出。红外探测器在军事、医疗、工业等领域都有着非常广泛的应用。非制冷型红外探测器能够在室温下工作,并且体积小、价格便宜、功耗低,这些优点使得非制冷型红外探测器得到了广泛的关注和迅速的发展。本文基于这一研究热点,将微机电系统工艺应用于红外探测系统中,提出了一种基于薄膜体声波谐振器（Film Bulk Acoustic Resonator,FBAR）的非制冷型红外探测器。首次将两种测试方法集成在一个红外探测器件上,极大的降低了器件的检测极限,扩宽了红外探测器的应用范围。本论文的研究内容和成果可以归纳如下:1.采用FBAR作为红外探测器,简介了其制作工艺流程和红外测试系统,对比分析打线和探针两种测试方法,对器件的性能进行分析。2.对于谐振式的测试方法,用实验和仿真阐明了红外辐射导致器件频率移动的机理,测量器件的温度系数TCF=-28 ppm/?C,并对红外探测测试结果进行分析处理,得到噪声等效功率NEP=40 nW/Hz^1/2,探测率D*=3.5×10⁵ cm·Hz^1/2/W,噪声等效温差NETD=16 mK。同时,通过FEM有限元仿真分析单元和阵列化红外探测器,分别探讨它们的热学特性和温度传播特性。3.对于电阻式的测试方法,通过实验排除温度对并联谐振频率处阻抗幅值的影响,利用MBVD（Modified Butterworth-Van Dyke）等效电路模型进行仿真分析,得到红外辐射改变器件的材料电阻从而导致并联谐振频率处阻抗幅值发生变化这一结论,并通过电学特性测试实验加以证明。最后,对电阻式红外探测结果进行分析处理,得到噪声等效功率NEP=0.89 nW/Hz^1/2,探测率D*=1.59×10⁷cm·Hz^1/2/W,这一指标比谐振式探测方法高两个数量级。