步进扫描式光刻机是国家“十二五”极大规模集成电路制造装备及成套工艺重大专项中的一项重要研究内容。本文以光刻机双工件台控制系统研究为背景，为满足工件台控制系统中对传感器大量数据的需求，设计了多功能数据采集卡。　　本文的第一部分首先分析了国内外光刻机的发展现状。简单介绍了本课题所涉及的工件台控制系统，分析了所要采集的传感器数据，并对硬件设计中的高速PCB问题进行了简单介绍。　　结合控制系统的需求，设计了一款多功能数据采集卡。该数据采集卡以DSP为数据处理芯片，以FPGA作为接口逻辑扩展芯片。在FPGA的外围扩展了VME总线接口以完成下位机板卡之间的数据交换。设计串口通信接口用以接收控制系统传感器的数据。设计了模拟量及数字来采集接口用以接收模拟量输入信号以及光栅尺数字量输入等。　　针对硬件设计方案对接口逻辑加以完善，并搭建了仿真平台，对相应的接口逻辑进行仿真验证。　　采用了信号完整性的理论，对所设计的硬件进行电源完整性分析和电路信号完整性分析。分析了反射、串扰等产生的原因并提出了解决方案。　　文章的最后利用实验室现有的工件台系统，搭建了试验平台。对数据采集卡进行了信号完整性仿真以及通讯测试。