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宽带减反射周期微结构是一种具有亚波长尺寸、在入射介质到基底介质之间形成等效折射率渐变效果的衍射光学元件,只有零级光传播,并且具有宽光谱宽角谱的增透特性。如果此类表面微结构直接刻蚀到透明基底介质上,能够具有较强的抗激光损伤能力。 本文系统地研究了宽带减反射三角形周期微结构的光学透射特性及其飞秒激光损伤阈值。基于傅里叶模式理论,准确地分析了宽带微结构的宽光谱宽角谱的透射特性。为了能够更加快速简单地计算其光学特性,我们通过标量衍射理论和等效介质理论计算的透射率分别与矢量方法的计算结果进行比较,得到了标量方法和等效折射率方法这两种简单近似方法在计算宽带减反射周期微结构光学特性的准确性。对于在透明基底熔石英上直接刻蚀的宽带减反射三角形周期微结构,当表面结构的周期尺寸大约大于五倍的入射波长时,标量衍射理论就能够准确地分析其透射特性,当微结构衍射光学元件中传播级次只有零级时,可以应用等效介质理论在1%的误差范围内计算其光学特性。 利用傅里叶模式理论,数值计算了宽带减反射三角形周期微结构的近场分布特性,得到了表面结构的电场增强因子,基于超短脉冲激光与光学元件相互作用主要决定于光学器件的近场增强效应,结合飞秒激光与物质作用的离化机制组合模型,详细分析了宽带减反射三角形周期微结构的飞秒激光损伤阈值特性。