本文以高温超导P-N结制备作为主线，围绕微/纳米加工、高温超导薄膜生长、器件制备与表征开展研究工作，主要目的是研究超导P-N结的相关制备工艺和输运特性。在文中首先利用微加工技术制备了多种微/纳米器件，对微加工设备的加工工艺和应用作了深入细致地研究，然后采用脉冲电子束沉积系统制备多种高温超导薄膜，最后基于微加工技术和薄膜沉积技术制备了高温超导P-N结并对其电学输运性质进行了研究。主要研究内容可以分为三部分： 一.在熟练掌握微加工设备工作原理和加工工艺的基础上，深入研究加工技术，开发出几种有效的大面积微/纳米加工工艺，制备出多种微/纳米器件，为进一步的器件制备与研究打下了基础。新工艺主要包括利用聚焦离子束系统快速制备大面积纳米阵列；利用改性光刻胶制备纳米压印模版，大面积快速复制纳米结构；利用聚焦离子束快速直接加工获得一系列二维分形结构。 二.采用脉冲电子束沉积薄膜技术，在SrTiO3(100)衬底上成功制备了Nd1.85Ce0.15CuO4(NCCO)、La1.85Sr0.15CuO4(LSCO)和YBa2Cu3O7-x(YBCO)三种高温超导薄膜。系统的研究了各种沉积条件对超导薄膜性能的影响。总结出薄膜形貌、结晶状态、Tc等随温度、气压、脉冲频率等条件变化的规律，优化了沉积参数，制备出一批高质量的高温超导薄膜，为高温超导P-N结的制备提供了试验基础。 三.在高质量超导薄膜上，采用微加工的手段，制备出多种高温超导P-N结。发现超导P-N结在正常态具有明显的整流作用，整流曲线随温度变化。其中：对于LSCO/Nb-SrTiO3和LSCO/NCCO异质结，其整流曲线在正反两向均符合肖特基势垒的特性，而YBCO/Nb-SrTiO3异质结整流曲线正向部分符合肖特基势垒的特性，反向部分不符合肖特基势垒特性。