功率集成器件作为功率集成电路的主要组成部分,通常工作在高压、大电流等恶劣情况下,因而面临严重的热载流子退化问题,使得器件工作寿命缩短,进而影响整个电路系统的性能。因此,功率集成器件的热载流子退化问题亟需解决,而为了方便、快速的测试并研究其内在退化机理,专用的热载流子退化测试系统的研究开发意义重大。目前,利用各种通用仪器搭建的测试系统,操作繁琐,连线产生的寄生参数干扰严重,不能满足更高层次的测试研究需求。本文根据器件热载流子退化所需的应力设计了动态应力发生模块,可以产生频率、脉宽、幅值和上升下降沿可调的脉冲信号,作为退化的动态应力。同时,为了检测施加应力过程中器件电学参数的退化情况,本文设计了器件电学参数监测模块,实现了应力模式和电学参数测试模式间的自动切换,实时监测并记录器件的电学参数。另外,该测试系统还包含电源模块、基准模块、过压保护模块等,确保测试系统安全稳定工作。测试结果表明：本文设计的测试系统可以产生频率在5kHz-2MHz间可调、脉宽在50ns-1550ns间可调、幅值三档可调的动态脉冲应力,并实现了施加应力过程中监测器件的电学参数,满足了功率集成器件热载流子退化的测试应用需求。