基于会聚光路偏振干涉面形检测系统设计

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随着科技的发展时代的进步,光学产品被广泛应用于生活的方方面面,与之相对的,对光学产品的基本元件也就是光学镜片的精度要求越来越高了。为了控制好光学镜片的精度要求就需要相应的检测技术得到一定的提高。就目前来看对光学元件检测最为经典且有效的方法就是干涉检测法。目前大部分光学车间常采用的是样板法,用这种方法检测镜片面形无法对镜片进行定量检测同时还容易对镜片面形造成二次伤害,结果是由检验人员根据经验判断,容易掺杂一些主观因素从而影响检测精度。我们课题组是在普通泰曼-格林分光系统的基础上加入了偏振干涉,通过软件模拟,采集干涉图样,提高了干涉条纹的对比度。本文主要是针对平行光路无法解决的小曲率凹凸透镜镜面面形检测问题,提出了会聚光路检测凹凸透镜的镜面面形的设计方案。本文首先对干涉理论进行研究分析,然后再用会聚光光路对凸透镜的面形和凹透镜的面形这两种检测方法进行理论分析,主要是用ZEMAX软件非序列进行软件模拟分析,得到不同曲率的面形干涉图样数据。同时仪器最终要实体化所以本文也提出了一个初步的样机图样方案。本文最后对研究工作进行了相关总结,针对会聚光路的不足之处提出了改进的思路和方法,对后期实现会聚光路全面性的检测有重要意义。
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