光刻用准分子激光光源的激励技术有两大特点：其一，高重复率(2kHz至6kHz)；其二，高压放电开关不采用闸流管(放电次数有限)。脉冲充电技术可与磁脉冲压缩开关结合起来达到快放电的目的，是目前替代闸流管的有效手段。　　 脉冲充电式准分子激光电源通过对脉冲变压器低压端与高压端回路参数的调节，以单个脉冲的形式将能量由低压端储能电容转移至高压端储能电容，从而实现准分子的放电泵浦。该电源特点是：主线路简单、充电时间短适合高重复率运行，是有别于开关电源的又一种准分子激光器电源。　　 本文通过对脉冲充电式准分子激光器电源的原理分析及电路设计，用实验来验证理论分析的结果并解决一些高电压快充电(目标<50μs)的技术问题。文中首先叙述了脉冲充电式准分子激光器电源的原理。对电源中核心部件脉冲变压器进行了细致的分析，提出了脉冲充电式电源设计中所要考虑的关键因素以及要提高电源质量所采取的措施。接着讨论了电源中电路部分的设计，包括可控谐振充电电路，可控硅控制电路及光耦电压监测电路。最后对所研制的激光电源样机性能进行了测试。　　 设计的电源单脉冲最大传输能量为18J，可满足多种应用需要。利用简单的触发脉冲即可实现对充电过程的控制。由于脉冲变压器的存在，电源在短时间内完成对高压电容的充电过程。它可与磁开关结合，为实现全固态开关电源以替代闸流管提供了可能。