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基于被动检测的物联网设备识别技术研究
【机 构】
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中国人民公安大学
【出 处】
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中国人民公安大学
【发表日期】
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2023年01期
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＜正＞以氮化镓为代表的化合物半导体薄膜材料,在半导体照明、大功率激光器、大功率电子器件等领域具有巨大的应用价值,因此成为国际上高科技领域的竞争热点。金属有机化学气相沉积（MOCVD）是制备氮化镓薄膜器件的关键工艺,其中的反应器优化设计和生长参数改进,对氮化镓薄膜的制备至关重要。
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