【摘 要】
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随着微/纳米科学技术的发展，纳米级定位技术已成为纳米科学技术领域的一项关键技术，对纳米位移台的多自由度测量和校准提出了迫切的要求。本论文依托于国家科技支撑计划课题“纳米位移定位控制技术和系统的研发（2011BAK15B09）”，就纳米位移台的激光干涉校准技术展开研究，旨在建立一套能够同时测量纳米位移定位平台六自由度的激光干涉校准系统。论文分析了激光干涉纳米位移测量技术的国内外研究现状，描述了外差式
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随着微/纳米科学技术的发展，纳米级定位技术已成为纳米科学技术领域的一项关键技术，对纳米位移台的多自由度测量和校准提出了迫切的要求。本论文依托于国家科技支撑计划课题“纳米位移定位控制技术和系统的研发（2011BAK15B09）”，就纳米位移台的激光干涉校准技术展开研究，旨在建立一套能够同时测量纳米位移定位平台六自由度的激光干涉校准系统。论文分析了激光干涉纳米位移测量技术的国内外研究现状，描述了外差式激光干涉仪的测量原理，选择ZYGO公司的同时测长和测角的3轴高稳定性平面镜干涉仪，设计了一套能够
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