Fano谐振具有尖锐不对称的响应谱线,来源于离散态与连续态在一定相位条件下的叠加混合,是在光学传感、光学调制、非线性光学等领域中具有竞争力的应用选择。长期以来,对于单Fano谐振的研究已经在各个领域内开展,但截止目前对于多/双Fano谐振的研究仍局限于原子物理和等离子体激元系统中。基于绝缘体上硅(SOI)材料的硅基光子学因其兼容微电子工业中的互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺及其它诸多优势而成为光学领域中的研究重点。为研究光电集成领域中的多/双Fano谐振,利用硅基光波导对双Fano谐振器件的设计和验证便尤为重要。本文第一次以硅基光波导为基础设计并实验验证了可独立调谐的双Fano谐振器件。该器件由一个U形反馈波导和并排嵌入其中的半径略异的两个微环谐振器组成,只经过微环谐振器的光形成两个尖锐的离散态光束,经过设定损耗下的反馈波导与微环所构成大谐振腔的光形成波形平坦的连续态光束,不同的光束在同一个输出端发生叠加,最终形成具有两个尖锐不对称谐振峰的双Fano谐振。根据传输矩阵法,本文中给出了器件的理论模型,并采用CMOS工艺完成了器件制作。测试结果表明,该器件产生的Fano谐振非常尖锐,消光比高达29.20dB,经计算,滚边带降值为83.42 dB/nm。更重要的是,对设置在不同微环上的热极施加电压时,两个谐振峰可以进行互不干扰的独立调谐,卓越的性能使其在一些领域具有实际应用前景,如拥有双传感区的高灵敏度光学生物化学传感器等。针对该器件在验证中表现出的不足,对该器件进行了合理的结构优化。此外,通过将本文提出的微环和反馈波导嵌套的结构引入到等臂马赫增德尔干涉仪的分支臂上,提出了创新性的Fano谐振器件结构,并在此器件结构的基础上分别研究了单Fano谐振和双Fano谐振,通过理论建模的方式分析预测了器件的基础性能与调谐性能,均取得了良好的结果。