【摘 要】
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该文研究了微电子机械系统计算机辅助设计和模拟的过程与方法,分析了MEMSCAD系统所应具有的主要内容及系统模拟中的一些关键技术问题,提出了基于虚拟环境的设计模拟方式,讨论
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该文研究了微电子机械系统计算机辅助设计和模拟的过程与方法,分析了MEMSCAD系统所应具有的主要内容及系统模拟中的一些关键技术问题,提出了基于虚拟环境的设计模拟方式,讨论了目前经常采用的各种模拟系统的模拟形式和应用范围,微系统器件由于是按微电子工艺设计制造的,不仅尺度在微米级,而且在微尺度范围内含集成了十分复杂的三维结构,因崦必然涉及到机械、电子、光学、热学甚至流体等多个学科领域.虽然在每种能量域内都需要进行精确的设计计算,但器件最终的性能将取决于各种能量场耦合的作用的结果,这实际上也是微电子机械系统计算机辅助设计与模拟的核心问题.在该文中着重讨论了最常用了静电力驱动原理微致动器的力电耦合,而没有考虑其它的能量场问题或电子封装问题.该文最后结合静电微马达和微米尺度镊子实例给出了模块化的CDA软件结构形式以及所用MEMS材料数据库的应用连接,所提出并采用的开发方式适用于简单微传感器及微致动器系统器件的设计与模拟.
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