数模混合集成电路衬底耦合的建模和参数提取技术

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该论文提出了几种迅速而精确的衬底耦合参数的提取技术.该文选取边界元方法作为衬底耦合参数的提取方法.由于满足复杂边界的格林函数很难求出,通常的边界元方法都是用自由空间的格林函数作为基本解,这样所有的边界都需要离散和计算.但是在衬底耦合参数的提取中,需要求出的仅仅是衬底端口区(衬底上表面的器件区和衬底接地/接电源区)之间的衬底参数,而不关心其他衬底表面区,所以离散所有的衬底表面并不必要.在该文中,求出了严格满足三维衬底边界条件的格林函数,使得在边界元法中需要离散的边界仅仅限于衬底表面的衬底端口区,大大减小了计算量.该论文还研究了在两种不同的衬底上减小衬底耦合的方法,分析了衬底耦合噪声对电路性能的影响.
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