半导体激光器光谱合束技术因其能够获得高功率、高功率密度、高光束质量的激光输出同时又具有半导体激光器体积小、质量轻、寿命长、转换效率高等优点已成为国际上研究的热点。整个外腔光谱合束系统通过衍射光栅的色散特性将所有激光单元的光束进行合束,因此衍射光栅是光谱合束技术的关键。本论文基于半导体激光器光谱合束技术的原理和衍射光栅的原理,研究了适用于半导体激光阵列外腔反馈光谱合束系统的亚波长熔融石英透射光栅。利用Rsoft软件设计并优化了940nm波段亚波长熔融石英透射光栅,获得了91.2%(TE模式)的衍射效率。根据仿真结果,选取和仿真参数相近的商用透射光栅实现了940nm半导体激光阵列外腔反馈光谱合束光源,获得了连续功率46W,谱宽宽度为14.36nm的激光输出。基于光栅的设计参数,研究了熔融石英透射光栅的制作工艺,结合全息曝光和ICP刻蚀等工艺,制作了周期为530nm、占空比为0.5和脊高为300nm的熔融石英透射光栅。