【摘 要】
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铁电薄膜具有铁电、压电、热释电、电光等一系列重要特性,是一类重要的功能材料,在微电子学和光电子学等领域有着广泛的应用,其中最重要的应用之一是铁电存储器.铁电存储器具
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铁电薄膜具有铁电、压电、热释电、电光等一系列重要特性,是一类重要的功能材料,在微电子学和光电子学等领域有着广泛的应用,其中最重要的应用之一是铁电存储器.铁电存储器具有非挥发、存取速度快、抗辐射等优点,成为当今存储器发展的重要新方向.钛酸铋薄膜有许多组成不同的相,SrBi<,4>Ti<,4>O<,15>薄膜的研究和制备都比较晚,对它的性质了解更少,是一种重要的新型薄膜材料.(一)该论文采用化学溶液分解法(CSD法)以硝酸铋(分子式:Bi(NO<,3>)<,3>5H<,2>O)钛酸四丁脂(分子式:Ti(OC<,4>H<,9>)<,4>)和醋酸锶(Sr (CH<,3>COO<,2> 1/2H<,2>O)为原料制备了SrBi<,4>Ti<,4>O<,15>薄膜,分析了SrBi<,4>Ti<,4>O<,15>薄膜的XRD谱线,通过多种分析测试手段研究了热处理工艺等对SrBi<,4>Ti<,4>O<,15>薄膜的晶化、微结构、表面形貌等的影响规律.测试了SrBi<,4>Ti<,4>O<,15>薄膜物理性能.该论文利用原子力显微镜(AFM)对薄膜表面形貌和晶化情况进行了研究,薄膜上的晶化过程是与固态相变过程有关的多晶集合体形貌问题.
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