MEMS传感器主要以硅半导体为材料,通过集成电路的制造工艺和微机械的加工工艺制造,使得传感器结构的集成化、微小化。MEMS传感器已经被广泛应用于航空航天、军事、工业自动化、汽车电子、电子通讯、农业、环境监测、生物医疗等重要领域。随着现代设计理论和方法的不断发展与进步,人们充分的认识到质量设计在产品设计中的重要性。稳健设计方法是通过在调整设计变量的同时控制其容差,使得当可控因素与不可控因素的实际值与设计值发生变差时,产品质量仍能得到保证一种有效的工程设计方法。本论文阐述了压阻式、电容式和压电式传感器的工作原理,对其设计原理进行了简单分析,主要包括压阻式传感器的压阻效应,电容式传感器的灵敏度与非线性误差,压电式传感器的压电效应。本论文还将稳健设计的思想引入到微传感器的设计中,对微传感器稳健设计的一般原理与方法进行研究,以改善其性能,降低制造成本。根据稳健设计的目标,提出微传感器稳健设计基本准则：可行稳健性、质量特性稳健性及其波动稳健性。讨论了基于容差模型、模糊模型和随机模型的微传感器稳健设计的基本原理与建模方法,建立了微传感器稳健设计的三种应用模型；分别以压阻式压力传感器与电容式传感器为例,研究了在同时考虑设计变量容差和噪声因素影响时,三种模型的计算方法,给出稳健设计结果。编写了用于计算基于容差模型、随机模型和模糊模型的稳健设计程序。计算示例表明,软件算法稳定,求解可靠；应用方便,实用性强。