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非晶碳膜主要由sp~2、sp~3杂化碳的非晶态和微晶态结构组合而成,按照薄膜内部结构的差异,包含了类金刚石薄膜(DLC)及类石墨碳薄膜(GLC)。非晶碳膜作为一种具有代表性的理想减摩抗磨材料,兼具了石墨和金刚石的优良特性,如:高硬度、高耐磨性、低摩擦系数、良好的化学稳定性以及生物相容性,目前应用十分广泛。但是,非晶碳膜中较大的残余内应力及较弱的膜基结合强度,限制了其使用范围和寿命。且目前的性能优化方法都存在局限性,难以获得具有良好膜基结合强度且各方面性能优异的非晶碳膜。深冷处理是一种较为成熟的材料处