【摘 要】
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该文对表面微观形貌测量技术的发展现状做了比较全面的综述.如论如下:1.触针试轮廓仪不适用于测量超光滑表面微观形貌;而且用不同仪器测量试件的同一表面,得到了不同的测量结
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该文对表面微观形貌测量技术的发展现状做了比较全面的综述.如论如下:1.触针试轮廓仪不适用于测量超光滑表面微观形貌;而且用不同仪器测量试件的同一表面,得到了不同的测量结果,一般R(AFM)>R(RSTPlus),符合在一般加工精度测量时总结的规律;2.AFM和RSTPlus干涉显微镜都可用于测量超光滑表面,但空间分辨率不同,会导致测导结果不同;3.对均匀性不好的表面,扫描尺寸不同,测量结果相差很多;用AFM测量时,由于扫描管的非线性和结构误差,随着扫描尺寸增大,测量结果也将增大;4.三维测量和二维测量所提取的表面信息不同,测量参数值也不同,实验结果的分析对比表明,一般三维粗糙度测量值比二维测量值大.
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