Ti O2作为一种半导体材料,属于n型化合物,并且TiO2材料具有工作温度低、性能优良、制备工艺简单、无毒、成本低廉、资源丰富等优点,故TiO2材料被广泛应用。通过掺杂其他金属氧化物来实现缩短TiO2气敏材料的响应时间,降低TiO2气敏材料的工作温度,提高TiO2气敏材料的灵敏度的目的,进而提高TiO2材料的气敏特性。本文通过sol-gel法制备SnO2-Ti O2厚膜并对其进行研究,探索Ti O2气敏性能与制备工艺条件的关系,通过多组对比实验确定最佳的制备方案。本文采用sol-gel法以钛酸丁酯、四氯化锡为前驱体制备出Ti(OH)4胶体,通过烘干、预烧、清洗后,得到了SnO2掺杂的TiO2厚膜。通过XRD、SEM以及气敏测试系统分析了Ti O2厚膜的晶体结构、表面形貌以及气敏性能。确定了pH值、搅拌速度、加水量等因素对Ti(OH)4胶体的影响程度。研究了掺杂量、退火温度、各种气体和气体浓度对SnO2-TiO2厚膜气敏性能的影响。结论如下:1.当H2O:Ti(OC4H9)4:CH3CH2OH=1:3:12时,反应速率适中,形成的胶体稳定并且均匀;2.将溶液的pH调节至2-3,且搅拌速度为80转/min,采用较慢的滴入速度,得到的溶胶的粘度适中,形成的胶体稳定且均匀;3.经700℃退火的掺杂为4at%的SnO2-TiO2材料制备的气敏元件,对乙醇气体具有很好的选择性,并且乙醇浓度为60ppm时,气敏元件的灵敏度达到26;4.在工作温度为63℃时,气敏元件对乙醇气体的灵敏度可达1903,响应-恢复时间分别为1s、3s,所制备的气敏元件能够用于乙醇气体的实用化检测;5.通过气体分子轨道能级理论,计算乙醇、甲醇、丙酮、甲醛气体分子的HOMO与LUMO的轨道能量值,进一步解释了气敏性能。