溶胶-凝胶光学薄膜制备及其性能研究是近年来一个引人注目的课题.该论文围绕高激光损伤阈值二氧化硅增透膜、二氧化锡薄膜、薄膜光学参数的p-偏振光双面反射法测量等三个方面展开了一系列研究工作.论文第一章综述了溶胶-凝胶技术的原理及其应用,并对溶胶-凝胶薄膜技术做了详细介绍,总结了制备薄膜的提拉法、旋转法和弯月面法等三种主要方法以及成膜的物理和化学过程,并详细分析了它们的特点.基于该论文的研究背景,作者概括了溶胶-凝胶高激光损伤阈值薄膜、二氧化锡薄膜和光学薄膜检测技术等方面的研究进展,指出了存在的主要问题.论文第二、三、四章是论文工作的第一部分,较系统地总结了所在课题组在镀膜工作中的研究结果.其中,在第二章中作者就工艺参数H<,2>O/TEOS比和反应温度对薄膜光学性能的影响进行了较为深入的研究.该论文的第二部分即第五章中,利用X-射线衍射仪、傅立叶红外谱仪、扫描电子显微镜、UV/VIS/NIR光谱仪等分析手段,研究了氨处理溶胶-凝胶二氧化锡薄膜的结构、表面形貌及光学性能.论文第六章即论文的第三部分,作者对薄膜光学参数的p-偏振光双面反射法测量进行了研究.改进了实验方法、考虑了入射光发散角引起的误差、采用多层膜模型,测量精度可以达到0.01%.