金属玻璃具有独特的原子、电子结构和优良的材料性能,在微细与精密加工领域已展现出广阔的应用前景,也已经被用于微机电系统(MEMS)中高性能微结构与部件的制造。但在微加工过程中温度和压力会对金属玻璃的非晶结构产生影响,进而影响到材料本身的性能。目前对金属玻璃的微加工技术仍不成熟。微细电解加工技术具有加工无热影响区、无应力、电极无损耗、易于实现微细加工等优点,在此基础上采用微米级金属丝作为工具阴极的微细电解线切割加工技术,具有微细电解加工技术优势的同时,还能通过阴极与阳极较为简单的相对运动加工出复杂三维微结构,是极具前景的一种微细制造技术。将微细电解线切割技术与锆基金属玻璃的微细加工相结合可以得到优良的工艺效果。主要研究内容包含以下几个部分:1、针对传统微细电解线切割中运丝传质方式传质效率不高的问题,提出了采用工件运动传质方式进行微细电解线切割,介绍了其原理与特点,建立加工间隙内的流场模型,分析加工间隙内的流场分布与加工过程中的传质特性。2、测量了锆基金属玻璃在不同溶液中的极化特性曲线,在此基础上分析了锆基金属玻璃的电化学溶解特性,结果表明锆基金属玻璃在水溶液中极易产生钝化膜阻碍溶解的进行;电解液pH值对其溶解过程有较大的影响;Cl~-提升了阳极极化过程中钝化膜的破裂和材料去除的速率。3、介绍了微细电解线切割试验研究的试验平台。设计了工件运动方式加工的专用电极夹具。对锆基金属玻璃工件运动电解线切割试验进行了初步的探究。结果表明稀盐酸溶液更适于锆基金属玻璃的加工;选用合理的参数可以加工出高精度高质量的微缝。4、针对高厚度工件的加工改造试验平台,并对高厚度锆基金属玻璃进行了加工试验研究。结果表明采用工件运动传质方式可以有效提升加工过程中的传质效率,加工间隙内的电解液更新鲜电场分布更均匀,从而提高加工效率与加工精度;选用合理的参数加工速度可以提升到0.2μm×s-1,并在500μm厚度的锆基金属玻璃上加工出深宽比13、标准差小于2.5的微缝,进一步加工出高精度高表面质量的复杂微结构。