钛具有低密度、高比强度、耐腐蚀、高的储氢性能，是生物相容性最好的金属材料，被广泛应用于航空航天、船艇、热能、建筑、化工和汽车、体育器材等日常生活等领域。但由于钛的冶炼过程复杂，成本较高，使钛很难在民用和工业上大量应用。利用磁控溅射技术，以原料丰富和价格低廉的钢材为基体，将钛与钢复合制备钢钛复合材料，使其耐腐蚀性优于钢材，扩展了材料的使用领域和使用寿命，降低生产成本，从而促使钛材在工业上大量应用，创造巨大的经济效益。磁控溅射与其他真空镀膜技术相比，具有沉积速率高、基片温度低和低损伤等特点；溅射膜层均匀、致密、纯度高，附着性好，还可大面积镀制薄膜。整个镀膜过程不产生其余有害废气、废液，绿色环保。本课题分别控制沉积时间、功率、偏压、真空度和靶距等参数，在钢材表面沉积一层钛金属薄膜，用SEM与XRD对钛膜的表面形貌和物相进行观察和表征，并对复合材料的耐腐蚀性能和力学性能进行研究。得到下述研究结果：1、本研究最佳工艺参数为：镀膜时间100min；功率145.6W；真空度1.0Pa；偏压140V；靶距35mm。2、在此工艺条件下，钛膜表面平整、界面致密、缺陷少。电化学腐蚀实验，研究表明钢钛复合材料腐蚀电位较基底钢材明显正移，具有稳定的钝化区域。浸泡实验，研究表明复合材料的耐蚀率是钢材的34倍，表现出优异的耐腐蚀性能。3、拉伸试验表明，在最佳工艺条件下制得的钛膜与基材之间抗拉强度达8.36MPa，是普通镀锌层的2.2倍，证明其拥有良好的膜基结合力。本论文对磁控溅射镀钛进行了比较全面的研究，系统表征了各工艺参数对于钛膜表面形貌、结构晶型、沉积量和耐腐蚀性能的影响，得到了良好膜基附着力的钢钛复合材料。