【摘 要】
：
本论文通过中频脉冲非平衡磁控溅射技术制备TiAlN薄膜，考察了氮气流量对薄膜结构与性能的影响。在最优工艺基础上利用中频脉冲非平衡磁控溅射结合多弧离子镀复合技术制备了TiAlSiN薄膜，考察了Si含量对薄膜结构与性能的影响，并进一步研究了不同AlSi靶电流下沉积的薄膜的高温摩擦学性能。最后考察了Cr、Mo、V和Y元素掺杂对薄膜高温摩擦学性能的影响。主要研究结果如下：1.工艺参数(氮气含量)能够影响T
论文部分内容阅读
本论文通过中频脉冲非平衡磁控溅射技术制备TiAlN薄膜，考察了氮气流量对薄膜结构与性能的影响。在最优工艺基础上利用中频脉冲非平衡磁控溅射结合多弧离子镀复合技术制备了TiAlSiN薄膜，考察了Si含量对薄膜结构与性能的影响，并进一步研究了不同AlSi靶电流下沉积的薄膜的高温摩擦学性能。最后考察了Cr、Mo、V和Y元素掺杂对薄膜高温摩擦学性能的影响。主要研究结果如下：1.工艺参数(氮气含量)能够影响TiAlN薄膜的结构与性能。随着N_2流量的升高，TiAlN薄膜的沉积速率降低，Al/Ti比率先升
其他文献
氧化锌（ZnO）是一种II-VI族直接宽带隙半导体材料，其禁带宽度（Eg）是3.37eV，室温下激子束缚能较高，为60meV，这使得ZnO在紫外半导体光电器件上具有广阔的应用前景，其中包括紫外发光二极管、激光二极管、薄膜晶体管、紫外探测器、气体传感器等。众所周知，本征的ZnO半导体材料呈n型导电性质，要想实现ZnO在发光器件领域的实际应用，就要制备稳定性高、可重复的p型ZnO材料。本文主要针对目前
陆地净初级生产力（Net Primary Production，NPP）是植被通过光合作用固定的太阳能，表示在单位面积上、单位时间内所获取的生物量的净增加量。作为陆地碳循环研究的重要组成部分，NPP的估算不仅可以直接反映陆地植被在自然条件下的生产能力，而且具有判断生态系统碳汇的作用，并且是衡量生态系统调节能力的重要因素。CASA模型属于光能利用率模型，以遥感数据为基础，综合气象与植被信息，进行大范
生产调度是根据生产目标和环境状态，在尽可能满足约束条件的基础上，按照生产计划对资源进行合理分配的一类问题。基于库存环境研究耦合生产线调度问题，能够提高仓库使用率和生产线作业效率，同时可为具有相关设备的企业提供生产调度优化方案。因此，对有库存约束的工位与传输耦合生产调度问题进行研究具有理论意义与实际价值。针对工位与传输耦合串行生产线的特点，基于极大代数建立了流水车间调度模型，并给出启发式动态规划最优
21世纪智能建筑在中国成为建筑市场的大趋势,针对世界各国面临的资源短缺、环境恶化以及能源消耗严重问题,人类也在不断地通过学习新知识与创新实践、努力改善着人们的生活质量。空调系统是智能建筑中的一个重要组成部分,也是整个建筑中的耗能大户,近年来引起人们的极大关注。近年来,变风量空调系统由于具有节能等优点得到了很大的发展,在降低空调系统能耗的各种措施中,空调系统的优化控制就显得非常重要。本文从系统角度出
遥感技术在国民经济和军事国防等领域得到了越来越广泛的应用。遥感图像清晰化处理是对遥感图像进行一切操作的基础,只有正确且清晰呈现目标场景实际特征的遥感图像才能提供积极可靠的图像信号,从而确保更深层次分析处理的正确性。本文对遥感图像清晰化研究的工作及成果如下：(1)在遥感图像预处理部分,本文在对遥感图像成像过程进行建模的基础上,利用数学几何关系求解思想,结合点、线、面等在不同成像坐标系中的不同表达式,
随着高光谱遥感技术的兴起和迅猛发展,高光谱遥感图像由于其包含大量丰富的空间信息和光谱信息等特点,已被世界各国政府部门,科研单位和公司广泛应用于军事和民用领域.但高光谱遥感图像在获取或传输的过程中,由于大气,传感器精度等各种因素的干扰影响,获取的高光谱图像可能会带有严重的噪声.而噪声的存在不仅会严重降低图像的质量,而且还会给对高光谱图像的后续处理带来更大的困难.其中,条带噪声就是一种十分常见而且很典
二氧化锰是一种有重要工业用途的氧化物,在工业上可用于超级电容电极材料、干电池中作去极化剂、玻璃制造中的脱色剂、化学工业中用作氧化剂、有机合成的催化剂、油漆和油墨的干燥剂和分子筛等多种领域。在二氧化锰薄膜制备领域,根据原材料的物理化学性质及合成产品的物质形态,制备方法可分为三类：液相法、气相法和固相法。现阶段广泛使用的阳极氧化法及溶胶-凝胶法均存在成本高及难以大规模生产的弊端。因此本文采用操作简便、
纹理特征是图像的一个重要特征，很多有用的信息可以借助纹理分析的方法提取出来。所谓的纹理分析即指凭借某种图像处理手段来提取纹理特征，从而获得纹理的定性与定量的描述过程。本课题以新疆和静县巴仑台--巩乃斯以北查岗诺尔--备战铁矿一带为研究试验区，结合光谱信息与纹理信息进行遥感岩性分类，并与单纯的依靠光谱信息进行岩性分类的精度做了对比。由于不同的岩石在遥感影像中具有不同的纹理特征，加入纹理信息会大大提高
铝掺杂氧化锌(AZO)透明导电薄膜作为一种多功能的光电材料,广泛应用于薄膜太阳能电池、平板显示器、发光二极管等光电领域。电子智能化的发展促进了柔性器件的开发与应用,对于可以替代氧化铟锡(ITO)的AZO薄膜已经成为国内外的研究热点。但是,大多数报道的AZO都在高温(200～400℃)制备,不利于AZO在柔性衬底中的应用。本文研究了低温条件下制备AZO薄膜,并研究了AZO/Ag/AZO复合多层结构透
钇铝石榴石(YAG)是固体激光器工作介质的主要构成部分。YAG晶体一般可制成YAG单晶或多晶陶瓷,YAG多晶陶瓷可克服单晶制备的缺点,目前研究较多。本文着力研究YAG粉体改性及制备YAG多晶陶瓷,力求降低残余气孔及晶界对YAG陶瓷致密度的影响,以获取较高致密度的YAG多晶陶瓷。YAG粉体改性即改善工艺条件获得性能最优的YAG粉体。这里性能最优YAG粉体标准：粉体颗粒近球状、纯度高,分散性较好。改性