提高大口径光学反射镜加工收敛效率的关键技术研究

来源 :中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) | 被引量 : 12次 | 上传用户:kissall79
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
大口径光学系统在天文及国防领域具有广泛的应用,其因具有更高的角分辨能力,更强的能量收集能力等特点是目前国内外光学加工机构研究的重点。大口径光学反射镜是系统的核心器件,国外已实现?8m量级反射镜的加工,国内正在进行?4m量级SiC反射镜的加工,而且正在向更大尺寸的光学反射镜迈进。中小口径的光学反射镜的加工普遍采用计算机控制光学表面成型技术(Computer Controlled Optical Surfacing,CCOS),该技术以小磨头技术为代表,随着技术的发展,融合了更多的加工手段以适应更广泛的加工需求。尽管CCOS技术在中小口径光学反射镜的加工上已经比较成熟,但当其应用在大口径光学反射镜的加工中时,我们发现诸如工艺路线及去除函数稳定性、边缘效应以及光学加工中心等加工过程中的关键技术极大的限制了大口径光学反射镜的加工收敛效率。因此,本文提出了通过工艺实验及分析提高粗抛光阶段去除函数稳定性及修正工艺参数关系、利用运动合成叠加实现复合运动主轴抑制边缘效应、设计并研制高效多工位的三角机光学加工中心来提高大口径光学反射镜的加工收敛效率。本文在实验室已有的工作基础之上,主要在以下三方面开展了相关的工作:一、针对现有工艺方法在加工大口径反射镜时收敛效率及确定性不高的情况,搭建了工艺参数实验平台,以实验室采用的平转动去除方式为基础,着重解决工艺稳定性对收敛效率影响最大的粗抛光阶段。首先探讨了基于矩阵离散化运算的仿真收敛算法可以实现将实际去除函数引入算法,在算法角度提高了仿真计算与实际加工的一致性,从而为提高收敛效率提供了算法保障。其次从磨盘结构、参数线性度、磨料等角度为主要方向研究了工艺参数对去除函数稳定性的影响。利用合理的参数配置得到了高确定性、高稳定性的高斯型去除函数。基于改进工艺手段进行了加工实验,在不考虑边缘效应影响的前提下,对一?100mm子孔径区域进行收敛,经过一轮48min加工,从rms?0.079?(??632.8nm)收敛至约1/30?,单次收敛效率高达58%,仿真计算与实际加工结果具有高度一致性;在此基础上对一?800mm的大口径离轴抛物面进行全口径加工收敛实验,经过一轮加工,rms收敛效率达34%,高于仿真计算结果的22%,对比仿真结果与实际加工结果,二者差别集中在边缘区域。通过实验验证了基于实际去除函数的算法在中心区域收敛的高效性同时,也验证了改进工艺方法的高稳定、高确定性;同时引出了边缘效应问题解决对提高大口径光学反射镜收敛效率提高的急迫性。二、本文针对现有边缘效应研究集中在边缘塌边的预测及数学描述的问题,提出在保持平转动高斯型去除函数高体积去除率的优点基础上,通过运动合成使去除函数峰值去除率偏离中心,重新分布能量使其向边缘处的移动,从而使磨盘伸出反射镜边缘的距离还未产生塌边即可实现去除函数峰值已伸出反射镜边缘,从而在真正意义上实现了边缘效应的抑制。通过仿真计算收敛验证了hz-尖刀去除函数对收敛算法的提升,从而表明该理论对大口径光学反射镜具有边缘效应抑制的能力。在理论设计及控制方式设计的基础上,利用复合运动主轴及跟随运动控制算法实现了hz-尖刀去除函数,并通过去除函数实验验证了该去除函数的存在,由于实际物理平滑作用的存在,实际得到去除函数比理论设计更加适合工程应用,将实测去除函数引入算法矩阵,通过对一300mm?150mm矩形sic反射镜的边缘去除实验结果发现,hz-尖刀去除函数作用下的边缘加工,没有产生诸如翘边、塌边等边缘效应问题,与预期的加工结果高度相似,因此验证了hz-尖刀去除函数对边缘效应的抑制能力。三、在获得稳定的工艺及分系统主轴的基础上,设计并制作了三角机光学加工中心,该加工中心具有三工位设计,最多可承载10轴的矢量进给运动。基于该加工中心,提出了一套大口径非球面镜加工模型,每个工位只需利用两个转动轴即可实现大口径非球面镜的遍历加工,同时加工工位与检测工位可以互换,节约成本的同时提升了大口径光学反射镜的加工效率。分析了三角机光学加工中心的适用性,提高了其在单一设计工作角度下的可加工范围;同时提出了简便、高效的零位标定方法。为了验证加工模型的可行性,结合工程实例,利用该加工中心对一口径为1450mm的离轴抛物面SiC反射镜进行了加工,实验结果表明,经过一轮迭代加工后,反射镜面形结果由PV?3.441μm、RMS?0.5203μm收敛到PV?2.637μm、RMS?0.2962μm,RMS收敛达43%。验证了模型的精度及可行性。
其他文献
<正>技术巴西政府高调宣布,向美国iRobot公司购买720万美元的510型PackBots机器人,用于在2014年教皇到访时和2016年里约奥运会中承当安检和保卫任务。该机器人由马萨诸塞州iR
依靠市场力量,通过消费扶贫,如今贵州通过多种渠道、多种方法,实实在在为优质农产品找到了出路,为脱贫攻坚开辟了新路。不久前,贵州农村产业革命产销对接体验店在贵阳市延安
"卖了一窝猪,2万块钱进了腰包,高兴着呢。晚上我在家炒几个菜,请大伙搓一顿,你们都要来哈。"今年初,铜仁市沿河自治县中界镇银山村村民杨秀万来到驻村干部曾剑的办公室,笑着
贵州聚焦重点疾病,统筹推进出生缺陷综合防治、构建危重症新生儿救治体系、筑牢出生缺陷三级防控网络,不断筑牢新生儿安全防线。截至今年6月1日,贵州新生儿疾病筛查工作已实
随着炎夏到来,尤其是雨前闷热和雨后初晴,蛇类活动也开始进入活跃期。临床上蛇伤患者的病情差别较大,关键在于咬伤早期是否采取了有效的救治措施。如果早期救治及时,症状大多
红色文化产业示范基地建设要聚焦重点、突出特点,着力在现有五产业及配套资源基础改造提质上下功夫,真正把红色文化产业基地做精做好,发挥示范引领作用。为充分了解贵州红色
茅台、郎酒、习酒、国台、珍酒、劲牌、钓鱼台7家酱酒企业共同发起并签署《世界酱香型白酒核心产区企业共同发展宣言》,意味着酱香型白酒正式走上产区化与国际化进程。中国酱
贵州是世界酱香型白酒的原产地和主产区,白酒产业作为贵州特色优势产业,是全省工业经济发展的"压舱石",更是习水县经济发展的主引擎。习水县正不断通过建链、强链、补链,推进
以去离子水为工质,在P=1-15MPa,G=500-2000kg/(m^2&#183;s),△Tsub,in=20-100℃,q=40-1000kW/m^2的参数范围内,实验研究了1000&#215;25&#215;2mm矩形窄缝通道内工质向上流动时,重要热工
患者男,21岁。因头昏1年,抽搐2次,6天前出现头痛、恶心、呕吐就诊。体检:神志清醒,颈软,四肢肌力V级,肌张力正常,生理反射存在,病理征未引出。各项生化指标包括腰穿脑脊液化验未见异常