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摘要该论文对扫描探针显微镜(SPM)制备纳米样板的相关问题进行了研究.提出了三种基于SPM的纳米样板制备方法,即,Si基底上的原子力显微镜(AFM)探针电场诱导阳极氧化方法、Ti膜上的扫描探针显微镜(STM)探针电流诱导氧化方法、Au基底上的AFM探针机械划刻方法.在对上述方法进行理论分析的基础上,制备出了相应的纳米样板,并对基于SPM的纳米测量和纳米加工的不确定度影响因素进行了分析.对扫描探针加工系统(SPL)进行了分析,包括AFM的扫描模式及其探针的性能、STM的构成和钨探针的制备、Ti膜和Au膜的淀积、扫描器的性能等.