本文以移相式数字波面干涉仪为研究对象。首先介绍了实验平台,实验的工作原理,常见的移相方法和PSI软件。然后通过对干涉图像特征的分析,随机噪声对移相干涉术精度的影响以及干涉条纹中噪声问题研究,提出一系列去除随机噪声与增强条纹边界形状的算法流程,进行了图像的预处理。其次在详细分析了移相干涉术的原理和方法的基础上,提出移相干涉术的重点是干涉图像波面相位调制的算法研究,通过大量的实验,综合比较了各种算法,提出基于相似度计算的新的算法流程,编制了实用的基于相似度的相位调制软件、重叠平均法计算包裹相位的软件。开发的软件建立在Windows平台上。最后通过大量的实验验证了新的算法流程,证明在实时处理和精度上新的算法可以快捷的、有效的进行干涉图像相位的调制,对原有软件提出了有效的补充和改进。本文通过大量的实验证明所研究的波面复原算法行之有效。并且在实际应用方面,研究准确有效的波面复原算法是对干涉仪抗震性能的有益实践,并且通过了在计算机上的仿真实验。为以后小型化嵌入式干涉仪的抗震性能研究提供了可靠的依据。