随着经济的稳步发展,滑阀泵的需求量不断增长,在真空冶炼、真空干燥、真空镀膜、真空浸渍等真空作业领域得到广泛的应用。本文讨论的滑阀式真空泵是一种油封式机械真空泵。它是利用滑阀结构来改变吸气腔的容积实现真空,故称滑阀真空泵。由于结构上的特点,这种泵容积量大,所以常常应用在大型设备上,可以单独使用,也可以作为其他泵的前级泵。但是,这种泵的转子具有很大的偏心,运转时会产生转动惯性力,此时,这个运动系统就会产生较大的振动,发出较大的噪音。目前已经基本可以实现偏心轮的惯性力的大体平衡,但是,滑阀的质心的运动轨迹形状复杂,是近似卵圆形的封闭曲线,因此,难以实现滑阀惯性力的完全平衡。本课题的主要目的,就是分析滑阀真空泵的振动问题,采取有效的措施来降低真空泵的振动和噪声,提高滑阀泵长期运行的可靠性。本文介绍了滑阀真空泵的研究现状及发展趋势,对滑阀真空泵的工作原理进行了论述,确定了滑阀真空泵的结构特性。分析了滑阀运动时对泵轴所产生的振动力的变化规律,同时分析了滑阀导轨对泵体产生的振动力的变化规律。基于质量平衡原理,推导了偏心轮运动时的动平衡方程,包括各个偏心轮之间的质量和位置关系,配重块的质量计算方法及其安装位置。根据分析可知,可以实现偏心轮的惯性力的平衡。论文对现有的滑阀真空泵进行了结构改进,提出了一种新型的滑阀真空泵结构。通过理论分析和计算,选择合理的结构和几何参数,并且通过虚拟样机软件对两种滑阀真空泵的结构进行对比性模拟试验。新的滑阀真空泵结构可以从原理上降低由于滑阀转动对泵体产生的振动力,同时保证滑阀泵的平稳高效运行。