论文部分内容阅读
薄膜电感是高性能压控振荡器、低噪声放大器和无源滤波器等集成电路模块的重要元件,对其研究主要集中在材料、电感设计及器件研发三个方面。针对提高电感值、提高工作频率、提高品质因数和降低损耗,本论文以高磁导率材料直接制备薄膜电感为出发点,系统研究了材料的静态、动态磁特性和电感的高频特性。该工作主要研究成果如下:1、薄膜电感材料选择及性质研究。系统研究了高磁导率Co_(92)Zr_8薄膜。通过改变工艺条件发现Co_(92)Zr_8具有面内单轴各向异性,该薄膜的难轴和易轴矫顽力都小于0.203 kA