非晶Ga_2O_3薄膜日盲紫外探测器的器件结构设计及性能优化

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由于日盲波段紫外光被臭氧层所吸收,近地面没有日盲紫外光,因此针对日盲紫外光的探测具有受外界环境影响较小等优点,从而日盲紫外探测器在导弹预警、火灾监测、臭氧空洞探测、紫外通信等领域有很广泛的应用,受到大家关注与研究。Ga_2O_3材料属于第三代半导体,禁带宽度4.8-5.3 e V,且其制备工艺简单、物理和化学性质稳定,非常适合应用于日盲探测领域。非晶Ga_2O_3(a-Ga_2O_3)薄膜探测器相较于结晶Ga_2O_3薄膜探测器而言,体现出兼具高响应度和快响应恢复速度的优势,同时低温制备有利于其在柔
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