激光薄膜损伤阈值的准确测量是研究高抗激光损伤光学元件的必要条件。薄膜损伤阈值是薄膜抗强激光作用的关键参数。准确、高效地测试激光薄膜损伤阈值是提高激光薄膜抗损伤能力的先决条件。而在测试薄膜损伤阈值过程中,如何实现对激光器输出参数精确控制并使之稳定则尤为关键。本文研究了激光薄膜损伤机理、损伤形貌及其损伤特点,总结了影响激光薄膜损伤阈值大小的因素。按照测试技术指标设定了激光薄膜损伤阈值测试方案。对激光薄膜损伤阈值测试系统元器件进行了选择。根据测试系统要求研究并开发了激光薄膜损伤阈值测试控制系统软件。选择了ND:YAG调Q脉冲激光器作为作用光源,通过实验研究了该激光器的工作性能、工作电压与输出能量的关系和工作频率与输出电压的关系。根据实验结果确定了激光器的最佳工作电压和频率；研究了由步进电机和衰减片组成的程控衰减系统的工作性能,并对其工作范围内旋转角度与输出能量的关系进行了实验研究,确定了该程控衰减系统的最佳工作范围；选择了样品调节架与样品加持架,实验研究了其工作性能；用能量探测器完成了能量的标定；对用He-Ne散射光法判别激光薄膜损伤进行了实验研究,确定了He-Ne激光器的最佳入射角度及其入射距离；用相纸法对光斑有效面积进行了研究；研究了零几率损伤法计算阈值的算法。根据测试系统要求研究了激光薄膜损伤阈值测试控制系统软件。在图形化编辑软件LabVIEW平台下开发了激光损伤阈值测试系统所用的Nd:YAG调Q脉冲激光器控制系统软件,实现了对激光器系统的自动控制,分析研究了激光器控制系统的被控参数及其硬件组成,给出了用LabVIEW开发的损伤阈值测试激光器控制系统软件的主要功能和特点；开发了激光损伤阈值测试系统所用的程控衰减系统的控制软件,实现了对程控衰减系统的自动控制；分析研究了程控衰减系统的被控参数、硬件组成和控制软件的主要功能和特点。根据样片移动系统的被控参数及其硬件组成开发了样品移动控制软件,实现了对样片的自动化控制,给出了样片控制系统软件的主要功能和特点；根据零几率损伤法的阈值计算算法,开发了数据处理软件。所完成的控制软件包括前面板设计、子程序和主程序。前面板创建了图形化操作界面,使其具有良好的人机互交界面。子程序中完成了激光器、程控衰减器和样品移动台的步进电机控制器与计算机之间的串口通信以及和各个控制器的参数设置。整个控制程序采用模块化的思想,实现了包括手动运行模块和自动运行模块的控制程序。