纯铁等离子体基升温注氮改性层组织结构研究

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该文系统地研究了注入电压和温度对纯铁等离子体基升温注氮改性层组织结构的影响规律,并对表面粗糙度随工艺参数的变化规律作了较为深入的研究.GXRD的研究结果表明:纯铁在等离子体基升温离子注氮后,表层相结构主要以Fe<,2>N、ε(Fe<,2-3>N)和γ(Fe<,4>N)>为主,次表层为γ相加含氮铁素体的过渡区.SEM的分析表明:在同一温度(360℃)注入时,随着注入电压升高,改性层变薄;在同一注入电压(35kV)下,升高温度将使改性层增厚并有利于氮化物的形成.TEM的分析表明:升温注氮后试样表面存在一定量的Fe<,3>O<,4>;次表层中则有高密度的位错、层错和孪晶存在.AFM和表面粗糙度的测量结果发现在最高的注入电压(45kV)下表面比较平整;温度的升高将使表面明显粗化.升温注氮后改性层硬度有所增高,这是氮化物的形成以及高密度缺陷和固溶氮共同作用的结果.
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