通过对FGH95粉末镍基合金进行不同条件的热处理、蠕变性能测试及组织形貌观察,研究了热处理制度对合金组织结构与蠕变性能的影响,及合金在蠕变期间的变形与断裂机制。结果表明:在1050℃及1140℃进行粉末预处理和1150℃热等静压处理,获得的一次γ’相尺寸较小,并沿晶界均匀分布。合金分别采用“标准”、“空冷”和“油冷”热处理后,一次粗大γ’相存留在较宽的晶界区域,二次γ’相在晶内析出;与“标准”热处理相比,“空冷”热处理合金中晶内的二次γ’相尺寸较小,且均匀分布;其中,一次粗大γ’相沿晶界析出,且沿晶界存在γ’相贫化区是降低合金蠕变抗力的主要原因。与“油冷”处理合金相比,“盐浴”处理合金的组织结构是细小γ’相弥散分布在晶内,其中沿晶界不连续析出的细小（Nb,Cr）C和（Cr,W）₂₃C₆型碳化物可提高晶界的结合强度,有效阻碍位错运动,提高合金的蠕变抗力。与“油冷”处理合金相比较,“盐浴”处理合金具有较好的蠕变强度和较长的蠕变寿命;在实验的温度和应力范围内,测定出“油冷”和“盐浴”处理合金的蠕变激活能分别为:Q=381.1kJ/mol和Q=542.07kJ/mol。在蠕变断裂期间,“油冷”热处理合金的变形特征是位错在晶内发生单取向或双取向滑移,在滑移迹线区域有细小碳化物析出,并发生γ’相贫化区的碎化,而在“盐浴”处理合金中仅发生晶内的位错滑移。在蠕变期间,合金的微观变形特征是孪晶和位错在晶内发生双取向滑移,并确定出孪晶面为（111）晶面,其中切入γ’相内的<110>超位错可分解形成（1/3）<112>超肖克莱不全位错+层错的位错组态。“盐浴”处理合金蠕变期间的断裂特征是发生穿晶和沿晶混合断裂,其中沿晶断裂呈现的非光滑晶粒表面是由于沿晶界析出的细小碳化物所致。